PI無塵室中的制造

功能和性能

在多個生産基地,PI都具有在無塵室條件下進行産品制造和質量鑒定的能力。這種能力還在根據市場需求不斷拓展和提高。

根據不同位置的工藝流程,PI或其合作夥伴能按照規定清潔每個位置的零件和産品,然後檢查清潔結果,确認是否存在顆粒污染并在必要時确認有無其他類型的污染。

經校準的顆粒測量裝置使PI能按照ISO 14644-1的規範監控無塵室的質量。

PI還可測量操作條件下其自身産品産生的顆粒的數量。

标準

自2001年起,無塵室的分類不再執行US FED STD 209E,取而代之的是ISO 14644-1。以下表格中列出的有些無塵室的分類同時基于兩種标準。

 

基于ISO14644-1的無塵室分類

每m³的顆粒數

Class0.1 µm0.2 µm0.3 µm0.5 µm1.0 µm5.0 µm
ISO 5100,00023,70010,2003,520832
ISO 61,000,000237,000102,00035,2008,320293
ISO 7352,00083,2002,930
ISO 83,520,000832,000

 

基于US FED STD 209E的無塵室分類

每m3的顆粒數

Class0.2 µm0.3 µm0.5 µm5.0 µm
10026,486105,9943,531
1,00035,315247
10,000353,1472,472
100,0003,531,47024,720

 


可用無塵室/超潔淨作業場所

除了無塵室,PI還擁有安裝在無塵室内部或外部的超潔淨作業場所。與各自的環境相比,它們的目的在于進一步減少特定工藝流程步驟中的顆粒污染。

以下概覽按照位置列出了現有和籌建設施。

PI在德國卡爾斯魯厄

PI Karlsruhe是PI集團最大的生産和研發基地,主要工作範圍包括對基于壓電陶瓷的定位系統和六足位移台領域中的标準及定制産品的裝配和質量鑒定。包括來料檢測在内的批量生産的各個區域都是符合ISO 8級的無塵室,有些無塵室還包含符合ISO 5級的超潔淨作業場所。特殊産品分形具有符合ISO 7級和ISO 8級的無塵室以及符合ISO 5級的超潔淨作業場所。符合ISO 6級的生産無塵室目前正在籌建。研發部門擁有符合ISO 7級的實驗室。

PI Ceramic,德國萊德羅塞

從流延成型開始的用于多層生産的整個工藝鍊都是在PI Ceramic的7級無塵室中完成的。壓電陶瓷部件和傳感器的裝配過程也是在7級或8級無塵室中完成的。根據工藝流程要求,ISO 7至9級無塵室可用于進一步的工藝流程,如濺射、絲印和分配。

PI miCos,德國埃斯克巴克

包括來料檢測在内的所有裝配區域都是符合ISO 8級的無塵室,有些無塵室還包含符合ISO 5級的超潔淨作業場所。工程系統也擁有符合ISO 7級的無塵室。

PI USA,霍普金頓

PI USA的生産區域具有ISO 8級的裝配島,可在無塵室條件下實現測量、清潔和包裝。

下載

白皮書

PI(Physik Instrumente)無塵室中的制造

功能和性能
版本/日期
WP4008E R1 2017-09
版本/日期
WP4008D R1 2017-09
版本/日期
WP4008CN 2018-12
文件語言
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