PI測量技術

針對标準、定制和OEM産品而實施

标準産品的測量技術細節

在相應的生産分形階段進行檢驗及最終驗收測試。PI利用可校準并可溯至規範的測量設備檢驗其産品。

  • PI利用主要制造商的高分辨率幹涉儀進行精确的路徑和長度測量,精度在幾納米内。 
  • 使用自準直儀、測斜儀、增量式旋轉編碼器或幹涉儀進行角度測量,具體取決于角度範圍。 
  • 針對特定生産線單獨設計壽命和負載測試并在适當環境中執行相應測試。 
  • 在隔振式蜂窩桌台上進行精密測量。根據相應産品線的要求調整測量環境和設置。 

 

PI開發了自己的測量技術,其采用PIOne增量編碼器電容傳感器。該傳感器技術主要安裝在PI産品中,但同時也用于生産和檢驗裝置的測量設備。 

納米測量實驗室

納米測量技術對穩定性和精确度有着極高要求。

  • 對于必須确保位置穩定性長達數小時且測量在納米級以下的長期測量而言,測量在具有穩定環境的特殊房間内進行。
  • 檢測實驗室具有抗震、隔電磁和隔熱效能,能夠确保溫度穩定性,24小時以上溫度變化不超過0.25 °C。這使得測量精度高達皮米級的精确測量成為可能,同時也為納米定位産品的測量定立了标準。

 


根據客戶需求執行測量

  • 位置精度通常記錄在運動平台上。還可以在由應用(例如,針對突出負載)定義的任意點對其進行測試。調整測試設備以用于此目的。
  •  
  • 借助負載能力為5噸的提升和傾斜設備,可以以應用特定的對準和負載對任意角度的定位系統進行檢驗。了解更多
  • 各種不同觸發選項允許同步進行數據記錄,例如,同時使用多台幹涉儀
  • 提供各種測量位置,用于在特殊環境條件下進行檢驗: 
  • 用于在低至77°K(液氮)條件下測量的冷凍室
  • 幹燥室(手套箱等)
  • 真空達10-11 hPa 了解更多

特殊測量設備

  • 符合電容測量原理的測量位置可用于測量擺動和偏心度。
  • PI提供多台白光幹涉儀,用于在材料研究中進行表面輪廓測量。
  • 可使用三維坐标測量機和六維激光跟蹤儀檢驗多軸系統,例如,六足位移台。
  • 高動态掃描測振計用于在操作期間測量壓電陶瓷元件的運動特性。這可用于檢查位移模型并驗證所需的激發态。
  • 測振計用于測量定位系統的速度和振動特性,最高測量頻率可達25千赫茲。

 


測量報告和日志

對于PI,每一項測量和檢驗都是保證質量的手段。這确保了所有出廠的定位系統均符合保證的規格。所有測量均使用可檢驗的外部測量設備諸如高分辨率幹涉儀進行。 

每一個産品的檢驗數據均是可驗證的。測量數據被編譯到數據庫中并用于過程控制。對于大規模生産運營而言,産品層面的可追溯性尤令人矚目。 

許多系統諸如六足位移台或壓電系統都提供有測量日志。因此,客戶可以在調度系統前通過測量的數據對系統性能進行驗證,同時查看哪些系統組件屬于一個整體。 


測量技術中的标準和規範

PI産品的檢驗基于以下标準:

 

  • DIN ISO 230-2

機床檢驗通則 第2部分:數控機床軸線的定位精度和重複定位精度的确定

  • VDI/DGQ 3441

機床運行精度和定位精度的統計測試方法

下載

白皮書

PI(Physik Instrumente)無塵室中的制造

功能和性能
版本/日期
WP4008E R1 2017-09
版本/日期
WP4008D R1 2017-09
版本/日期
WP4008CN 2018-12
文件語言
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白皮書

PI是怎麼測量的 - 第I部分

測量環境/測量設備系列/數據評價
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版本/日期
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版本/日期
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白皮書

采用外置Zygo幹涉儀控制PI定位器

版本/日期
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版本/日期
WP4017D 2018-11
文件語言
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pdf - 1 MB
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