材料研究、加工及表面測量技術

效率已經成為當今社會的重要流行語。材料研究為此做出了巨大貢獻,包括優化加工方法等在内的一大批研究成果應運而生。納米級表面檢查同樣也為生産效率的提高做出了寶貴的貢獻。X射線和激光以及白光幹涉測量等方法都需要精準定位待測樣本以及精準的光學元件或光束控制。

白光幹涉測量中的納米精度驅動解決方案
用于表面檢查(結構健康監測)的壓電技術
納米壓痕技術中的精密掃描
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