壓電陶瓷驅動器在激光束控制中的應用

激光器是一種廣泛應用于衆多領域的工具。激光束的精确定位始終起着至關重要的作用。同時,激光束的偏轉和聚焦還要求驅動系統具有卓越的動态性和穩定性,并且結構緊湊。基于這些要求,壓電定位系統是非常理想的選擇。

卓越的動态性與精度

基于壓電效應的促動器具有亞納米級的運動分辨率,響應時間小于一毫秒,因此可以實現掃描頻率高達一千赫茲的動态操作。此類促動器無需維護,靜态工作狀态下無能耗。

材料加工和激光掃描的高精度解決方案

在電子元件生産等領域使用的偏擺鏡系統和壓電陶瓷掃描平台中,并聯運動定位系統采用壓電陶瓷驅動器。系統中僅有一個具有共用樞軸點的運動平台。與兩個單軸系統來回切換的模式(通常用于振鏡掃描器等場合)相比,這種系統可實現更高的精度。
在超分辨率顯微鏡中同樣如此。 相比傳統驅動器,偏擺平台的無摩擦壓電驅動器和柔性鉸鍊支持更高的加速度,在位置受控的操作中,可在高達3°的偏擺角範圍内實現高于100 Hz的掃描頻率。

陶瓷PILine®超聲波電機為激光束控制技術帶來了更多值得研究的可能性。這種電機具有轉速和加速度極高、結構緊湊等特點。采用專利的驅動原理,可在靜止狀态時實現自鎖。

下載

成功故事

材料處理中的激光束偏移,激光掃描顯微鏡和眼科

壓電驅動元件及其可能性
版本/日期
pi1100E
版本/日期
pi1100D
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