原子力顯微鏡的AFM掃描器

壓電陶瓷掃描台發揮關鍵作用

以采用模塊化設計的顯微系統為例,如今模塊化的産品設計使得共聚焦拉曼顯微鏡、原子力顯微鏡和掃描近場光學顯微鏡(SNOM)可以真正完美地結合在一起。這些具有極高分辨率的方法都需要實現試片在全部三個運動軸方向上的高精度定位。




以極高位置分辨率和動态性能完成定位

定位系統需要提供良好的空間分辨率,因此試片掃描器的分辨率必須達到納米級别。與此同時,出色的動态性能也不可或缺,Z軸方向的移動速度越快,X和Y軸方向的定位也就越迅速。這樣可以縮短測量時間,從而降低可能存在的溫度漂移(溫度漂移會随時間而增加)。

掃描台的關鍵作用

壓電陶瓷掃描台在試片定位過程中起着非常關鍵的作用。掃描台沿掃描平面兩個軸的設計行程為100和200 µm、沿Z軸方向的行程為30 µm,位置分辨率高于2 nm。 此外,掃描台可利用電容式傳感器實現主動引導,從而提高軌迹保真度:傳感器将檢測沿運動方向垂直軸的偏差。 掃描台可實時檢測并主動補償運動中的無用串擾,并保證相應數字控制電路以高頻率實現所需控制,這是精準控制掃描器位置值和記錄照相機的關鍵所在。

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手冊

顯微鏡的納米定位

快速、緊湊、納米級
版本/日期
BRO28E R5D
版本/日期
BRO28CN 2018-12
文件語言
pdf - 8 MB
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