3-D表面檢測

高分辨率照相系統與白光幹涉測量法完美結合

借助高度發達的非接觸式無損工藝,可以實時分析許多不同材料的表面輪廓和粗糙度,分辨率高達微微米級别。這一過程需要結合使用高分辨率照相系統和白光幹涉測量法。

為保證分析的有效性,并将獨立的測量結果組合成有意義的圖像,必須确保鏡頭能夠快速而精确地定位。

鏡頭位置必須與單個圖像準确匹配,這樣才能從源頭上确保實現高精度的3-D表面檢測。

顯微鏡換鏡旋座定位系統

壓電定位系統是顯微鏡換鏡旋座定位的絕佳選擇:定位系統可直接集成到顯微鏡中,負責移動整個顯微鏡換鏡旋座,從而以極高精度沿Z軸方向順序移動各個鏡頭。定位系統在工作過程中不會産生磨損、摩擦和空回。此外,系統還能以高達10 g的加速度實現加速,非常适合實時3-D表面測量所必需的高頻率工作環境。

高聚焦穩定性

高精度、無空回的柔性鉸鍊導向裝置可确保高穩定性,有助實現納米級精度的運動。用于傳遞力和運動的柔性鉸鍊導向裝置不會産生磨損。 電容式傳感器用于在運動中精準測量位置。它們可以在無物理接觸的情況下直接測量機械系統中運動的部件(直接計量),不會因摩擦或滞後而影響測量。除了亞納米級的位置分辨率外,這種方法還能提供非常好的線性度。

下載

手冊

顯微鏡的納米定位

快速、緊湊、納米級
版本/日期
BRO28E R5D
版本/日期
BRO28CN 2018-12
文件語言
pdf - 8 MB
pdf - 13 MB
成功故事

快速、高精度3D表面檢查

壓電陶瓷促動器定位目标
版本/日期
pi1073E
版本/日期
pi1073D
文件語言
pdf - 423 KB
pdf - 472 KB
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