高真空環境中薄膜生長的原位研究

在同步輻射源中,輻射的X光反射和衍射可用于研究薄膜在形成過程中的結構屬性。要對樣品進行精密定位,并聯運動六足位移台具有最佳的條件。

樣品操縱器中的六足位移台

在緊湊型PLD系統(脈沖激光沉積系統)中,設計用于高真空環境的六足位移台相對于入射X射線進行樣品定位,使樣品以0.001°的分辨率繞X和Y軸傾斜±5°。 此外,為了補償薄膜層的厚度差,可以沿Z軸(即垂直于樣品表面的方向)進行移動,最大移動量為3mm。同時,系統沿X和Y軸方向的移動量可達±6mm,從而可以掃描到樣品表面的不同位置。對于一個直徑130mm的小型六足位移台而言,其高度僅為115mm。

下載

成功故事

在粒子加速器中驗證和測試的六足位移台

在真空室中應用超薄層
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