納米定位壓電柔性鉸鍊平台

PI的壓電陶瓷柔性鉸鍊平台将亞納米級分辨率和導向精度以最小串擾相結合。這使得其特别适用于計量學中的應用、超高分辨率顯微鏡、幹涉測量或半導體芯片生産的檢測系統。壓電陶瓷柔性鉸鍊平台可用于毫秒穩定精密定位和動态掃描,頻率高達幾百赫茲,多達六自由度。

擁有專利的傳感器設計、無摩擦柔性鉸鍊導向和長使用壽命的PICMA®壓電陶瓷促動器獨特地組合在一起,帶來了優異、堅實的機械部件。壓電陶瓷運動控制器支持定位和掃描性能優化,可通過數字或模拟接口和輕松編程實現簡易集成。

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