線性壓電柔性鉸鍊平台

PI的納米定位平台和掃描器将納米級精度分辨率和導向精度與最小串擾相結合。這使得其特别适用于計量學中的參考應用、微觀過程、幹涉測量或半導體芯片生産的檢測系統。

帶PICMA®壓電陶瓷促動器驅動器和柔性鉸鍊導向的線性壓電平台可供貨,行程長達1.5毫米。



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