帶母體位置測量和閉環控制的混合概念

壓電陶瓷和電機用于實現納米精度

  • 壓電陶瓷柔性鉸鍊驅動器和直流伺服/滾珠螺杆驅動器的同步控制
  • 納米範圍内的可重複性
  • 直接計量:分辨率為2nm的線性編碼器
  • 納米精度的設置時間達毫秒級
  • 無摩擦壓電陶瓷驅動器和柔性鉸鍊解耦滾珠螺杆
  • 接近時空回和粘-滑效應的有源補償
  • 恒定高速
  • 最小能量需求/散熱下較大的驅動和保持力

用于兩種驅動器的一種控制

電機(藍色)和配備單個高分辨率線性編碼器(綠色)的壓電陶瓷促動器(黃色)的常規閉環控制可實現極其恒定的速度和較高的定位精度。

粘-滑效應

到達位置或空回時,粘-滑效應可就此被補償。兩種運動系統的閉環控制使用相同的高分辨率位置傳感器,結果是一個運動系統的行程為幾百毫米,而精度相當于一個基于壓電陶瓷的納米定位器。 分辨率和定位精度取決于所選用的位置傳感器。

解耦運動

混合驅動器中,移動平台通過一個高度剛性的壓電陶瓷促動器以及無空回、無摩擦的柔性鉸鍊接頭從機動化的驅動裝置中解耦。定位模式中,設置為幾納米僅需幾微秒,且最小增量可在編碼器分辨率範圍内得到可靠實現。 動态操作中,通過在機動化驅動器的運動中補償不規則行為,壓電陶瓷促動器可保證非常恒定的速度。


應用

混合平台非常适用于要求高精度測量和返回某一位置的應用,或者表面檢測計量學,從而以納米級精度準确到達某一目标位置。

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下載

白皮書

配置壓電陶瓷促動器的混合納米定位系統

長行程、重負載、精确定位
版本/日期
WP4014E 2018-10
版本/日期
WP4014D 2018-10
文件語言
pdf - 725 KB
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