通過柔性鉸鍊接頭實現優秀的導向精度

集成導向、運動放大器和預載

  • 在納米定位技術中,柔性鉸鍊導向已被證實适用于高達幾毫米的定位任務。柔性接頭的運動基于固體的彈性變形。這避免了靜态、滾動或滑動摩擦。

特點

其優點是高剛性、負載容量和耐磨性。柔性鉸鍊無需維護,可使用非磁性材料制造,不需要潤滑劑或消耗品,因此可在真空環境下工作。

作為杠杆的柔性鉸鍊

壓電陶瓷促動器的行程也可通過集成杠杆機構增加。促動器被機械地集成在柔性接頭内,行程可擴展至2 mm。由于簡單的杠杆結構失去了相當數量的指導精度和剛度,然而,設計需要更複雜的幾何形狀。

亞納米精度

柔性鉸鍊允許具有超高路徑精度的運動。為了補償高速或橫向偏移,PI已經開發出了特殊的多連杆柔性導向。這些導向系統應用于大多數PI納米級定位系統,在亞納米或微弧度範圍内允許平面度和實現度。

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下載

樣本

技術:帶導向和預載的壓電促動器

版本/日期
TEC72 2017-10
文件語言 English
pdf - 371 KB
樣本

通過柔性鉸鍊接頭實現優秀的導向精度

版本/日期
TEC64 2017-10
文件語言 English
pdf - 424 KB
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