壓電驅動技術比較

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PICMA® / PICAPiezoWalk®PILine®Q-Motion®PiezoMike
原理Piezo步進超聲波慣性慣性
分辨率亞納米亞納米亞微米亞納米20nm
速度-可達10mm/s高達幾百mm/s大于10mm/s約0.2mm/s
幾微秒範圍的響應時間高動态掃描模式靜音(非常高的工作頻率)靜音(非常高的工作頻率)高穩定性
行程直接可達約300µm,帶杠杆放大時為2mm 僅受轉子長度限制僅受轉子長度限制僅受轉子長度限制可達約50mm
高達100kN高達800N(NEXLINE®)可達40N可達10N保持力>100N,進給力>20N
高剛度靜止狀态下自鎖靜止狀态下自鎖靜止狀态下自鎖靜止狀态下自鎖
多促動器驅動器産生步進運動Single-actuator drive單促動器驅動器單促動器驅動器
控制模式模拟電壓高頻交流電壓(正弦)高頻交流電壓(修正鋸齒)高頻交流電壓(修正鋸齒)
電壓範圍150V(PICMA®),1100V(PICA®)55V(NEXACT®),500V(NEXLINE®)120V,200V,微型電機明顯低于<48V至100V
非常适用于...高動态下的納米精确定位納米精确定位次微米精度定位納米精度及長期穩定定位長期穩定定位
杠杆放大、帶導向的系統保持力較大的準靜态應用快速步進-趨穩保持力較大的準靜态應用UHV環境
壓電陶瓷掃描管行程高達幾毫米高速掃描模式
微調粗調和微調恒定低速下的操作
力的産生力的産生
主動隔振主動隔振
恒定低速下的操作

下載

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海報:PI壓電電機技術

最佳解決方案選取指南
版本/日期
POS14E
文件語言 English
pdf - 1 MB
樣本

PiezoWalk®壓電陶瓷步進驅動器

版本/日期
TEC71 2017-10
文件語言 English
pdf - 825 KB
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