PiezoWalk®壓電電機

大進給力下的納米精度

  • 不同轉子長度導緻不同行程
  • 分辨率達0.03納米
  • 不工作時自鎖,無熱量産生
  • 無磁性和真空兼容工作原理
  • 三種技術:NEXLINE®、NEXACT®和PICMAWalk
  • 從OEM電機到多軸定位系統的集成度

PiezoWalk®驅動器是十多年前為半導體産業開發的。就可靠性、位置分辨率和長期穩定性而言,半導體産業是一個非常嚴苛的行業。2005年,PI的PiezoWalk®技術榮獲SEMI技術創新獎。通過不斷開發,此類驅動器目前衍生出了很多版本,可用于不同的應用領域。


步進驅動器的特點


三大技術實現更高靈活性

PICMAWalk

PICMAWalk驅動器可實現高達50牛的進給力和高達60牛的保持力。最大速度為15毫米/秒

PICMAWalk采用久經考驗的PICMA®多層壓電陶瓷促動器,意味着壓電電壓低至120伏。PICMA®壓電陶瓷促動器還可确保較長的使用壽命和PICMAWalk技術傑出的穩定性

NEXLINE®

高負載步進驅動器将壓電陶瓷夾緊和切變促動器相結合來移動一根杆。在幾百牛的進給力下,此類驅動器具有極大的力和剛性。此類驅動器可以納米級的分辨率在幾微米的範圍内動态補償振蕩,設計實現高達800牛的定位和夾持力,且可在較低速度下工作。

NEXACT®

精密步進驅動器通過壓電陶瓷彎曲元件轉換步進動作。這類驅動器更緊湊,可實現更高速度,産生10至20牛的力

壓電陶瓷元件的恰當選擇可為各應用優化步長、夾持力、速度和剛性。


PiezoWalk®直線電機的工作原理

作為主要零件,此類壓電陶瓷步進驅動器包含幾個壓電陶瓷促動器,其上施加預載抵住導向轉子。

這些壓電陶瓷促動器運行時進行步進運動,将轉子往前推進。壓電陶瓷促動器可進行非常小的步進和進給運動,從而實現遠小于1納米的高運動分辨率。

PICMAWalk

NEXLINE®, NEXACT®


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專利

在壓電陶瓷步進驅動器(PiezoWalk®、NEXACT®和NEXLINE®)技術領域,PI擁有以下專利或專利申請:

DE10148267B4
EP1267478B1
EP2209202B1
EP2209203B1
US6800984B2

下載

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海報:PI壓電電機技術

最佳解決方案選取指南
版本/日期
POS14E
文件語言 English
pdf - 1 MB
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