PIOne光學納米編碼器

高分辨率、線性度和緊湊的安裝空間

  • 20皮米RMS及更好的分辨率
  • 緊湊尺寸23 mm×12 mm×5 mm
  • 正弦、餘弦或正交信号的輸出
  • 低功耗和低自發熱
  • 光栅的精度等級150納米/ 30厘米
  • 适用于高真空10-7帕,烘烤至80°C
  • 适用于移動範圍> 1 mm
  • 最大分辨率時的速度高達0.8米/秒的
  • BiSS接口用于保證數據交換

PIOne線性編碼器特點

小型且具有皮米級分辨率

由PI開發的PIOne高分辨率線性傳感器保證小于1納米的定位分辨率和充分測量分析。 PIOne線性編碼器采用專利技術:PIOne的測量頭部包括馬赫-森德幹涉儀,沿線性刻度移動。正弦信号和餘弦信号通過網格反射的信号産生。額外的插補占據系統中很小部分的分辨率。傳感器頭部同時産生方向傳感參考。傳感器頭部測量為23 x 12 x 9.5 mm。

20皮米分辨率

增量式傳感器分辨率,即傳感器頭沿刻度的最小可測量位移,主要受傳感器的信号周期的長度、處理電子的噪聲和電子内插因子的信号的影響。 但内插因子的水平受信号噪聲的限制,隻能在一定範圍内選擇。出于這個原因,盡可能小的信号周期是優選的,即使具有較低的内插因子,也可具有較高的分辨率。 由于其0.5 µm的較小的信号周期優化的信号處理,PIOne傳感器可實現20皮米及以上的分辨率。在這種情況下,插值因子可為4000,且沒有噪音。

低于1%的線性偏差

0.5 µm的較小信号周期、等級優于150 nm/30 cm的精度和高質量的信号可使傳感器的線性偏差僅為< 1%。PIOne的傳感器頭部包含Mach Zehnder幹涉儀,其中光路是均衡和完全對稱的。這允許環境的影響,如溫度和濕度補償。 使用的激光二極管以較低性能工作,以減少傳感器頭部的熱量産生。為了最大程度地避免測量系統内部熱量的産生,光路可通過PIOne傳感器頭部的光纖耦合。 由于PIOne傳感器的信号可通過不同的PI控制器處理,因此傳感器可被用于定位具有不同驅動技術的系統。


測量原理

集成的馬赫-森德幹涉儀

通過兩個網格時,來自激光二極管的光束被分成兩個光束路徑時,随後再次統一到一個單一的光束。産生的幹涉圖案由光電二極管檢測然後再進一步處理。

光纖可選光耦合

光源未集成在傳感器頭部,并通過光纖連接到傳感器頭部。這樣最大限度地減少了傳感器頭部中的熱量。

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