正确的定位傳感器技術

納米精密測量技術

PI提供全球範圍最廣的高動态和高分辨率的定位系統。沒有最高分辨率的測量設備,則無法達到其線性度和重複性。 幾納米及以下範圍内的精度需要能夠檢測在這個範圍内運動的定位測量方法。選擇合适方法的最重要指标是線性度、分辨率(靈敏度)、穩定性、帶寬以及成本。另一個重要因素是能夠直接記錄平台的運動。 與移動部件的接觸也會影響測量結果;因此,PI盡量采取非接觸測量方法。因此,傳感器應盡可能小,且不會升溫。PI納米定位系統使用四個 ;不同類型的傳感器::

  • 電容傳感器
  • 應變片傳感器 (SGS)
  • 壓阻式傳感器 (PRS)
  • 線性編碼器
CapacitiveSGSPRS線性編碼器
靈敏度和分辨率 *優秀非常好優秀優秀
線性度優秀非常好非常好
穩定性、重複性 優秀一般優秀
帶寬*優秀非常好非常好非常好
測量方法直接/非接觸非直接/接觸非直接/接觸直接/非接觸
測量範圍<2 mm<2 mm<1 mmup to >100 mm

*分類是指納米定位系統的特點。數據表中有關分辨率、線性度和可重複性的信息反映了整個系統的規格,包括控制器、機械部件和傳感器。使用外部測量儀器(Zygo幹涉儀)進行檢查。這個數據不能與傳感器系統的理論數據相混淆。

應變片傳感器(SGS)的間接位置測量

應變片傳感器包括一個薄金屬或半導體箔(壓電電阻),附着于壓電陶瓷或為了提高精度,附着于彎曲平面的導向系統。這種類型的位置測量是接觸和間接的移動平台的位置取決于杠杆、導向或壓電堆的測量。應變片傳感器從其擴展中獲得位置信息。具有多個應變片傳感器的全橋電路提高了熱穩定性。

下載

樣本

用于納米定位技術的傳感器技術

版本/日期
TEC67 2017-10
文件語言 English
pdf - 780 KB
白皮書

采用外置Zygo幹涉儀控制PI定位器

版本/日期
WP4017E 2018-11
版本/日期
WP4017D 2018-11
文件語言
pdf - 637 KB
pdf - 1 MB
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